1. 超净高纯试剂公司从事超净高纯试剂的研发、生产和销售近 20 年,是国内目前主要的超净高纯试剂企业之一。公司的超净高纯试剂水平先进,多款产品达到 G4 等级,其中超净高纯双氧水、超净高纯硫酸、超净高纯氨水三大类产品已实现整体技术突破,达到 G5 等级。

        - 超净高纯试剂

        半/导/体/制/程/用
        超高纯双氧水超高纯硫酸超高纯氨水

        符合:SEMI Grade5 标准

        适用于:14纳米以上集成电路加工工艺

        SEMI Grade5 For 14nm and further technology node

        产品信息详情

        PRODUCTION BASE
        品名产品应用
        双氧水广泛应用于半导体前道湿法清洗工艺,包括颗粒、金 属杂质和有机物残留的清洗
        硫酸应用于半导体前道光刻胶剥离和有机物残留的清洗
        氨水应用于半导体前道particle及polymer的清洗
        BOE应用于半导体前道氧化硅的湿法蚀刻工艺
        硝酸应用于半导体前道硅蚀刻液及晶圆回收清洗
        盐酸应用于半导体前道金属杂质的清洗去除
        TMAH应用于半导体前道光刻胶显影剂和硅减薄工艺
        • 全国服务热线:4000-300655
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